聚焦光路诊断设备
联系人
王美晓
邮箱
电话
购买日期
2023/09/19
主要规格和技术参数
电机运动精度优于5um。极限真空度优于5E-10torr
主要功能及特色
用于诊断同步辐射纳米聚焦光路的光斑路径
主要附件及配置
Z轴线性位移台，离子泵，四刀狭缝