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超导器件原位生长系统
超导器件原位生长系统 预约
联系人
吴越珅
邮箱
wuysh@shanghaitech.edu.cn
电话
13585738289
购买日期
2021/05/12
主要规格和技术参数
本底真空<5e-9Torr，双轴水冷样品台，四个坩埚槽位
主要功能及特色
电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。
主要附件及配置