一、主机系统 1.1 真空腔体，4个三轴直流探针臂，2个光纤探针臂 1.2 系统变温范围：85K～372K，采用连续流降温技术，降温时间小于30分钟 1.3 样品台直径2英寸，平整度优于5微米 二、影像系统 2.1 500万像素彩色CMOS工业相机 2.2 显微镜成像分辨率≤2微米，连续变倍比≥6.5:1 2.3 放大倍数范围：18X～400X。工作距离满足：90-200mm 三、光学部分 3.1 多通道激光器：波长266nm、406nm、520nm、642nm、850nm、980nm、1064nm、1310nm、1550nm；包含对应波段的光纤等夹具，能与测试系统耦合 3.2 信号源：频率5MHz，采样率200MSa/s，双通道，任意波长度8M，垂直分辨率16bit 3.3 示波器：带宽50MHz，4通道，最高采样率:1GSa/s，最大存储深度:24Mpts，最大波形刷新率:30,000wfms/s 四．半导体参数测试仪，Keithley 4200A-SCS 4.1 中功率源IV测量单元2个，电流源输出量程/分辨率：最小: 100nA(量程)/5pA,最大: 100mA(量程)/5μA；电流测试范围/分辨率/偏置：最小：100nA(量程)/100fA/30pA, 最大：100mA (量程)/100nA/3μA；电压源输出电压量程/分辨率：最小: 200mV(量程)/5μV, 最大:200V(量程)/5mV；电压测试范围/分辨率/偏置：最小：200mV(量程)/0.2μV/100μV, 最大：200V(量程)/200μV/3mV 4.2 前置放大单元 (直流源测量单元)2个 ，电流源输出电流/分辨率：最小： 1pA(量程)/1.5fA，电流测试范围/分辨率/偏置：最小：1pA(量程)/10aA/10fA 4.3 电容测试单元，频率范围：1K-10MHz；分辨率：对整个范围为1 kHz

1、实现液氮低温-室温的宽温度范围测试；2、实现不同波段的激光辐照测试；3、超高精度的电流测试