电流测量：准确度（Accuracy）≤10pA，电压扫描范围≥1000V。 电容测量：准确度（Accuracy）≤100fF，电压扫描范围≥200V。

广泛应用于各种材料和器件的IV、CV、Cf、Ct等的测量，进而获取诸如掺杂浓度和分布、载流子寿命、氧化层厚度、界面态密度等半导体参数。