1）包含分析腔、样品准备腔和快速进样室，各腔体之间使用闸板阀隔离，配备磁力传样杆和机械手用于样品/针尖传递，快速进样室真空度优于5 x 10-8 mbar，分析腔真空度优于1.5 x 10-10 mbar，制样腔真空度优于1.5 x 10-10 mbar； 2）配备主动减震系统，用于地面震动隔离； 3）样品加热器可加热大至10 mm*10 mm样品，样品台同时具备直通电流加热、辐射加热，同时具有液氮冷却功能，样品温度范围：100 K-1400 K； 4）配备高灵敏度质谱，扫描分辨率：不小于2000 (M/△M FWHM)，相对灵敏度：2 mA/Torr； 5）扫描隧道显微镜扫描面积在液氦温度下1.2 μm×1.2 μm, 在77 K时不小于2.5 μm×2.5 μm，在室温下5 μm×5 μm； 6）扫描头温度监控精确度：±0.25K，低温下最大热漂移速率z方向优于0.1nm/h，x，y方向优于0.2nm/h；液氦温度下，温度稳定达到热平衡后，z方向热漂移速率优于0.008nm/h； 7）扫描模式：STM恒流模式，qplus AFM恒频模式，恒高模式。

超高真空扫描隧道显微镜作为分辨率可达到0.1 nm的表面表征技术，是现有分辨率最高的表征手段，结合低温技术，可以真正从单分子单原子水平研究材料的形貌结构，电学性质，光学性质，磁学性质等，对材料结构设计、功能开发提供实验依据，具有重要的科学研究意义。