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惰性手套箱联用的粉体原子层沉积系统
惰性手套箱联用的粉体原子层沉积系统 预约
联系人
谢琎, 蔡鑫璨
邮箱
电话
购买日期
2019/10/25
主要规格和技术参数
反应室温度（RT~400°C） 源瓶温度（RT~200°C）
主要功能及特色
惰性气体手套箱联用原子层沉积系统，适用于粉末，对空气敏感等样品。外加旋转装载系统，沉积更加均匀。
主要附件及配置
石英晶体微天平 残余气体分析仪