1. 测量能力 • Spectroscopic Ellipsometry (SE)（标准椭偏）: 在整个光谱范围内同时测量 Psi和 Delta • Generalized SE（通用椭偏）: 对应各向异性样品的完整 2x2 琼斯矩阵 • Mueller Matrix SE（穆勒矩阵）: 4x4 穆勒矩阵的所有16个元 . • Depolarization（退偏振）: 测量及模拟样品的非理想状况 • Intensity（强度）: 透过率与反射率，包括各向异性项的交叉偏振强度。 2. 光谱范围 U, X: 210-1000 nm 790 波长点 D: 193-1000 nm 800 波长点 UI, XI: 210-1690 nm 1065 波长点 DI: 193-1690nm 1075 波长点 XI+: 210-2500 nm 1040 波长点 3. 数据采集速率 全光谱测量只需1/3 秒 - 包括高级数据类型！ 4. 角度范围 固定角： 65° 水平自动变角： 45° - 90° 垂直自动变角： 20° - 90°

椭偏技术利用偏振光的特性来表征薄膜和块材。通过测量偏振光经过样品表面反射后偏振态的改变，使用基于光学模型的数据分析，获得薄膜厚度（d）和光学常数(n,k)等参数。

1. 水平和垂直样品台。 2. 最小25*60微米微光斑。 3. 全新近红外光谱仪。 4. 光源。 5. 主机。