1.扫描范围在5k液氦温度下大于1.2μmX1.2μm。 2.最高分辨率可以达到2pm 3.遂穿电流探测精度优于1pA. 4. 低温下最大热漂移速率z方向优于0.1nm／h，x，y方向优于0.2nm／h 5. 液氮液氦制冷剂消耗率低，液氦消耗率优于0.06L/hour,液氮消耗率优于 0.2L/hour. 6 qPlus sensor的扫描探针具有AFM测量功能，AFM分辨率优于3pm

超高真空扫描隧道显微镜作为分辨率可达到0.1 nm的表面表征技术，是现有分辨率最高的表征手段，结合低温技术，可以真正从单分子单原子水平研究材料的形貌结构，电子结构等。

低温扫描隧道显微镜系统包含液氦液氮杜瓦，液氦量计，低温STM/AFM扫描探头，清洁扫描探针装置； 2）STM超高真空腔包含真空规，视窗，样品储藏架，闸板阀； 3）超高真空准备腔包含四轴高精度样品架，离子泵，涡轮分子泵，真空规， 4）快速进样腔包含传样杆，真空规，烘烤灯，闸板阀； 5）避震系统； 6）烘烤系统； 7）DSP电子控制单元 8）样品托及其扫描探针