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电子束曝光机
电子束曝光机 预约   送样
联系人
翁思远
邮箱
wengsy@shanghaitech.edu.cn
电话
users.sqdl@shanghaitech.edu.cn
购买日期
2017/10/10
主要规格和技术参数
加速电压：125 KV 可实现最小线宽 < 20 nm
主要功能及特色
高电压、大写场，兼具高分辨率和高曝光速率。 样品尺寸：20mm*20nm以下不规则小片，2/3/4/5/6寸晶圆。
主要附件及配置
动态聚焦消像散器、可变场大小发生器、预对准台。