样品载物台最大可放置 8 寸硅片，向下兼容小尺寸样品。样品厚度不得超过8mm。设备最高温度不得超过300摄氏度。

紫外臭氧清洗机可组合利用紫外线、臭氧和加热，温和有效地从各种基材上去除 有机物，该系统适用多种应用，如基板清洗、光刻胶残渣清除，亲水性提高，表面活 化和紫外光固化。

紫外光强计