手动清洗台包含一个加热的Piranha槽(硫酸和双氧水的混合液)，室温稀释HF槽(10:1 ≥40% HF)，和两个快排冲洗槽，还包含一个水枪和一个气枪。甩干机有两个腔体。

手动清洗台最大可放置6英寸样品，本实验室可提供的清洗花篮为4英寸及6英寸。甩干机最大可放置6英寸样品，本实验室可提供的晶圆花篮为4英寸及6英寸。