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湿式蚀刻清洗系统
湿式蚀刻清洗系统   送样
联系人
张艳
邮箱
zhangyan@shanghaitech.edu.cn
电话
20684687
购买日期
2017/08/21
主要规格和技术参数
湿法刻蚀通风橱，配备Piranha清洗槽以及氢氟酸清洗槽。120摄氏度的Piranha溶液用于去除晶圆表面的颗粒物以及有机物；5%HF溶液用于去氧化层或者刻蚀
主要功能及特色
Piranha溶液用于清洗晶圆；5%HF溶液用于去氧化层或者刻蚀。用户也可在此通风橱内使用其他浓度的酸液。
主要附件及配置
MOS1通风橱配备了120摄氏度的Piranha刻蚀槽以及5%HF刻蚀槽。