1、可依据工艺需求设置时间、液位和电阻率等参数，在控制器控制下完成清洗过程，具备LED实时显示工艺状态。可存储100个Cycle 2、兼容6寸及以下圆片

主要用于剥离工艺，主要进行有机试剂方面的实验。该通风橱配有 QDR 和 KOH 加热槽。可用于4寸和6寸硅片的KOH刻蚀和清洗工艺。