2023年春学期《量子材料与微纳器件制造技术I》课程在量子器件中心拉开序幕

2023年2月10日下午，上海科技大学2023年春学期《量子材料与微纳器件制造技术I》课程在量子器件中心（SQDL平台）正式拉开序幕，顺利开设了“第一课”。“第一课”内容丰富、授课形式多样，囊括了开课导论、微纳加工平台综合培训、参观超净实验室、清洗技术理论与实验实践等内容。“第一课”由物质学院执行院长/量子器件中心主任陆卫主讲，平台技术业务负责人宋艳汝、信息学院助理教授吴涛和多名平台工程师联合授课。现场24名本科生、研究生首次走进了量子器件中心，开启了学习微纳制造、拥抱“卓越工程师”潜质的全新旅程。

图 课程现场

开课导论以“让同学们直接触摸微纳制造”为主题，由陆卫主任主讲。这是一堂将思政、科技前沿动态与微纳制造初阶理论知识巧妙结合的生动授课。课上，陆卫谈到本系列课程总目标是培育具有国际视野、以科技强国为己任的拥有扎实理论基础与一流实践技能的微纳制造领域卓越工程师，他指出这是以“报国裕民”为使命的上科大，为面临“百年未有之大变局”培育“大国工匠”的急迫需求。并以最近火爆全球的ChatGPT为例，以全新视角分析和阐明微纳制造在全球科技创新和竞争中的关键地位和重要作用。接着，他用“地球、苹果、原子大小关系”、“蝴蝶翅膀的仿制”、“指甲上建造10亿栋房屋”、“临床化验实验室如何微缩成手持设备大小”等多个生动形象的例子向同学们阐述了微纳制造的“微观世界”。开课导论中还涉及到微纳制造技术中最关键的光刻工艺理论原理。接着，宋艳汝老师和吴涛老师向同学们详细地介绍了本学期课程计划和安排以及线上课程资料库。

图 陆卫主任讲授“开课导论”

图 宋艳汝老师和吴涛老师介绍课程计划与安排

开课导论结束后，同学们参加了SQDL平台新用户综合培训，综合培训包含《SQDL用户手册》与安全知识专题培训，平台工作人员向学生系统介绍了SQDL超净间基本情况、进出步骤、各项服务流程、管理规定、违规处罚以及超净间安全知识，并用大量高校安全事故和SQDL以往用户违规的实际案例，提醒同学们将实验安全操作、超净室基础规范和提高安全意识放在首位，并带领同学现场开展消防应急通道演练。综合培训部分是SQDL平台用户入门学习的重要一环，可帮助初为超净室用户的同学们养成良好的实验习惯，并促进平台用户质量的不断提升，推动平台管理标准化、规范化、安全化。

图 同学们参加新用户综合培训

接着学生们在工程师的指导下换上了超净服，有序参观了超净间。在清洗技术理论与实验实践中，平台工程师向同学讲授了湿法刻蚀工艺技术原理，并分组带领同学在超净室清洗刻蚀区介绍了6台通风橱设备实际操作和注意事项，并进行了现场考核授权。

图 同学们参观量子器件中心超净间

图 清洗技术设备培训

“第一课”从下午13：00开始，到18:00结束。同学们收获满满，对微纳制造有了深入认识，了解了微纳加工工艺、研发环境及工程师工作模式，初步掌握和接触了微纳清洗技术，零距离接触SQDL平台的同时对微纳制造技术产生了浓厚兴趣。

课程介绍：

《量子材料与微纳器件制造技术I》依托物质学院“双一流”学科建设，是由量子器件中心开设的以实验实践为主、理论教学为辅的本研一体特色课程，拟向课程学生对目前科研领域主流先进微纳加工技术和分析测试方法进行全面介绍、培训与设备使用授权，并进行相关结构器件制备。课程内容涉及无掩膜光学光刻、紫外曝光光刻、电子束光刻等微纳图信制备技术；图形化沉积、刻蚀技术；PVD\CVD及电子束蒸镀薄膜生长与沉积技术；湿法清洗、刻蚀与干燥技术；可视化显微分析、厚度与深度分析、应力分析、光电学性能分析等材料器件与结构表征技等，在课程后期学生将分组对氮化铝薄膜生长谐振器件、超导TES器件等四个器件进行光刻工艺加工。值得一提的是，在整个教学过程中涉及SQDL平台29台先进微纳加工设备的考核与授权，这相当于学生完成课程学习后，会获得SQDL平台对学生进行全链条微纳加工技术证书认证和授权，这将促进学生们在未来从事相关领域科学研究工作中能恰当地选择相关工艺方法与分析手段进行结构、器件与芯片的设计、制备与测试，进而帮助我校各学院整体微纳加工技术水平和研发能力的提升，支撑相关学科领域发展。

2023年春学期课程的24名学生来自物质学院和信息学院本科生和研究生，涉及材料科学与工程、物理学、化学及电子科学与技术等专业。