SQDL（已停用）

授权等级	设备授权方式	对应的设备清单	授权流程
1级（免交叉污染评审）	由工程师培训1次、签订承诺书后直接授权	显影通风橱 1层3号显影、普通化学清洗槽 1层4号显影、湿法腐蚀台通风橱2、湿法腐蚀台、湿法腐蚀台通风橱3	新用户：综合培训中包含老用户：联系工程师预约申请
2级（免交叉污染评审）	观摩用户操作1次或工程师培训1次后，考核通过者予以授权	湿法腐蚀台 1层2号匀胶、有机清洗通风橱 1层1号匀胶、1.5M酸碱通风柜、应力测量仪、白光轮廓仪 3D Laser、表面轮廓仪 KLA台阶仪、光谱反射膜厚仪Filmmetrics(F50-UV)、光学显微镜、椭偏仪 IR-VASE Mark II M-2000UI)、高真空离子溅射仪 SEM制样	参见以下《1-4级设备授权流程》
3级	观摩用户操作或工程师培训累计3次后，考核通过者予以授权	原子力显微镜 AFM、3D电子扫描显微镜 SEM 所有刻蚀设备和镀膜设备
4级	工程师培训累计3次后，考核通过者予以授权	接触式光刻系统 MA6(MA/BA6)、高速高分辨率无掩膜光刻仪MLA、3D电子扫描显微镜半自动EBL (Sigma300)
5级	不开放用户授权，仅平台工程师操作	步进式光刻机 Stepper、电子束曝光机全自动EBL、氮化铝集成溅射仪 AlN cluster	不开放

备注：设备授权收费按《收费章程》执行。

2. 1-4级设备授权流程

流程说明（可直接点击超链接登录线上系统或下载文件）

1.查询计划。登录SQDL官网查询设备操作培训和考核月度计划（SQDL官网-服务指南-用户服务日程）。

2.预约培训。用户联系设备管理工程师预约培训，获得设备SOP并认真自学；登录校大仪共享平台线上预约SQDL相关设备独立操作权限的培训。

3.培训考核，获得授权。凭本人门禁卡进入洁净室，在门口自取《SQDL设备自主操作权限培训授权表》（无尘纸，样式表），填入个人信息，按照《设备授权等级表》和以上对应等级设备的授权流程图规定进行观摩/培训/考核。。

4.使用设备。获得设备权限后，用户可登录大仪平台预约设备使用时间，在预约时间内进入SQDL化净室严格按设备SOP操作使用设备。

注意事项：

1.用户申请3-4级设备授权，要保证所使用设备已通过新工艺项目技术评审，如经工程师审核并未通过评审的，需补充技术评审流程后方可申请。