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接触式光刻系统
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高速高分辨率无掩膜板光刻仪MLA
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化学气相沉积系统(ICPCVD)
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高精度贴片机
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原子力显微镜
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多靶材溅射仪SPUTTER
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张祁莲
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多靶材溅射仪SPUTTER
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张祁莲
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原子层积系统
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氟化氙刻蚀仪 XEF2 ETCHER
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HF干法刻蚀机
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马驰原
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