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多源炉电子束蒸发系统
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接触式光刻系统
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高速高分辨率无掩膜板光刻仪MLA
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反应离子刻蚀系统
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等离子刻蚀系统
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减薄抛光系统
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化学气相沉积系统(PECVD）
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化学气相沉积系统(ICPCVD)
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高精度贴片机
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原子力显微镜
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