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打线机
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多源炉电子束蒸发系统
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接触式光刻系统
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彭鹏飞
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高速高分辨率无掩膜板光刻仪MLA
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王镜喆
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化学气相沉积系统(PECVD）
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吴廷琪, 马驰原
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化学气相沉积系统(ICPCVD)
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吴廷琪, 马驰原
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反应离子刻蚀系统
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吴廷琪, 马驰原
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等离子刻蚀系统
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吴廷琪, 马驰原
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晶圆甩干机
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3D电子扫描显微镜
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