仪器设备
关键词 :
打线机
联系人 :
吴廷琪
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
多源炉电子束蒸发系统
联系人 :
张祁莲
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
接触式光刻系统
联系人 :
彭鹏飞
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021 20684632
高速高分辨率无掩膜板光刻仪MLA
联系人 :
王镜喆
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
化学气相沉积系统(PECVD)
联系人 :
吴廷琪, 马驰原
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
化学气相沉积系统(ICPCVD)
联系人 :
吴廷琪, 马驰原
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
反应离子刻蚀系统
联系人 :
吴廷琪, 马驰原
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
等离子刻蚀系统
联系人 :
吴廷琪, 马驰原
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
晶圆甩干机
联系人 :
吴廷琪
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
3D电子扫描显微镜
联系人 :
王旭
地址 :
海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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