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显影通风橱
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张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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20685791
光学显微镜
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彭鹏飞
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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021-20684632
晶圆甩干机
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王镜喆
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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普通化学清洗槽
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张祁莲
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20685791
普通化学清洗槽
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联系人 :
张妍亭
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室B1
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021-20685693
普通化学清洗槽
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张妍亭
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室B1
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021-20685693
普通化学通风柜 4
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张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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20685791
1.5M酸碱通风柜
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王镜喆
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20684633
光谱反射膜厚仪
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闫晓密, 杨津津
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20685721
减薄抛光系统 抛光机
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联系人 :
吴廷琪, 叶佳
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海科路99号1号楼材料器件中心-无尘室B1
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20684743