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序号 # |
化学品名称 Name |
成份 Composition |
简介 Functions |
MSDS |
Data Sheet |
存放位置 Location |
备注 Remarks |
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1 |
乙醇 |
C2H6O |
有机溶剂，无色液体，有酒香，易燃。 |
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黄光区不锈钢化药柜 |
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2 |
丙酮 |
CH3COCH3 |
有机溶剂，无色透明易流动液体，有芳香气味，极易挥发，易燃、化学性质较活泼。 |
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黄光区不锈钢化药柜 |
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3 |
异丙醇 |
C3H8O |
有机溶剂，无色透明液体，有似乙醇和丙酮混合物的气味，易燃，具刺激性。 |
异丙醇 MSDS |
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黄光区不锈钢化药柜 |
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4 |
HMDS |
(CH3)3SiNHSi(CH3)3 |
光刻胶增粘剂，有效增加硅基底表面疏水性。 |
HMDS MSDS |
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黄光区不锈钢化药柜 |
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5 |
MF-26A |
~2.5%Tetramethy lammonium Hydroxide in H2O |
显影液，主要成分为四甲基氢氧化铵（TMAH），溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域。 |
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| 6 | AZ 300 MIF Developer |
四甲基氢氧化铵；水 |
显影液 |
AZ 300 MIF Developer MSDS |
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黄光区不锈钢化药柜 |
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7 |
PG Remover |
N-Methyl Pyrrolidinone based solvent |
去胶液，主要成分为1-甲基-2-吡咯烷酮（NMP），加热可有效溶解光刻胶。 |
PG Remover MSDS |
reference |
黄光区不锈钢化药柜 |
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| 8 | AZ 400 T |
NMP（N-甲基吡咯烷酮）;1， 2-丙二醇;四甲基铵羟化物（TMAH） |
去胶液 | AZ 400 T MSDS |
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黄光区不锈钢化药柜 |
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| 9 |
丙二醇甲醚醋酸酯 |
C6H12O3； CH3CO2CH(CH3)CH2OCH3 |
别名: MPA;PGMEA;丙二醇单甲醚乙酸酯 1-Methoxy-2-propyl acetate; 1,2-Propanediol monomethyl ether acetate; 2-Acetoxy-1-methoxypropane; 1,2- Propanediol 1-Monomethyl Ether 2-Acetate; Propylene Glycol 1-Monomethyl Ether 2-Acetate MPA; PGMEA |
丙二醇甲醚醋酸酯 MSDS |
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黄光区不锈钢化药柜 |
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10 |
LOR 5A |
/ |
lift off 底层胶。非感光性树脂，可以被显影液溶解，作为lift off双层胶工艺中底层胶使用。 |
reference |
黄光区冰箱 |
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| 11 | PMGI SF5 | / | lift off 底层胶。 |
PMGI SF5 MSDS |
黄光区冰箱 |
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12 |
S1805 |
/ |
正性光刻胶(optimized for g-line)，约0.5微米左右薄，分辨率高，稳定可靠。 |
reference |
黄光区冰箱 |
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13 |
S1818 |
/ |
正性光刻胶(optimized for g-line)，约1.8微米左右薄，分辨率高，稳定可靠。 |
reference |
黄光区冰箱 |
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14 |
SPR220-7 |
/ |
正性厚光刻胶，可厚约6.5微米或9微米，用于选择性电镀，深硅刻蚀等工艺。 |
reference |
黄光区冰箱 |
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| 15 | AZ5214 | / | 适用于高分辨率工艺（lift-off工艺; optimized for i-line）；适用于正/负图形；很宽的膜厚范围等工艺。 |
AZ5214 MSDS |
黄光区冰箱 |
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| 16 | SU-8 3025系列 | / | SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。 |
SU-8 MSDS |
reference | 黄光区冰箱 |
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| 17 | 氢氟酸 |
HF |
适用于氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，清澈、无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气体。易溶于水、乙醇、微溶于乙醚。 |
HF MSDS |
需申请才能领用 |
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| 18 |
缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）/Buffered HF酸 |
它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）。 |
缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）薄膜。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。 备注：勿存放于玻璃器皿。 |
BOE/Buffered HF MSDS |
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需申请才能领用 |
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19 |
MHA |
C16H32O2S |
16-巯基十六酸，用于polymer pen的工艺中，Au的墨水 |
MHA MSDS |
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需申请才能领用 |
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| 20 |
硫酸 |
H2SO4 |
无色澄清油状液 体。无气味。能与水和乙醇混溶，并放出大量热而猛烈溅开，宜将酸渐渐加入水中。暴露空气中迅速吸收水分，也能夺取有机物如糖、纸、布、木等中的水分子而使其碳化。相对密度约1.84。沸点约290℃。低毒。有强腐蚀性。 |
H2SO4 MSDS |
piranha refs: |
需申请才能领用 |
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| 21 | 过氧化氢 | H2O2 |
过氧化氢，30%水溶液，氧化剂，漂白剂。 |
H2O2 MSDS |
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需申请才能领用 |
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| 22 | Au腐蚀液（Gold etchant, standard） | KI、I、H20 |
易于以最少的底切控制蚀刻。室温下操作。无氰化物，用 |
Gold etchant MSDS |
Gold etchant Data Web Link |
需申请才能领用 |
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| 23 | 氢氧化钾 | KOH | 用于Si的刻蚀 | KOH MSDS |
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需申请才能领用 |
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化学品清单：