溅射电流：0-150mA可调 镀膜厚度精度：0.1nm 样品仓尺寸：200mm (宽) X 150mm（深）X 195mm（高） 工作模式：离子溅射、碳丝蒸发，并可选辉光放电

Leica EM ACE600 是一款高真空镀膜仪， 真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵，无油真空系统，真空度可达2×10-6mbar，镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器，可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制，自动完成抽真空，镀膜，放气等全过程，一键操作。仪器可选离子溅射镀金属膜，满足高分辨场发射扫描电镜（FESEM）需求。

靶头选择：铂，碳丝。样品台：可旋转样品台。