1、最小特征尺寸≤8nm 2、加速电压最大30KV，最小可调节步进为10V 3、20kv，最小束斑直径1.6nm 4、图形发生器扫描频率6MHz 5、束流范围 5pA-20nA 6、写场0.5um-2mm连续可调 7、套刻精度小于50nm 8、光阑尺寸：7μm、10um、15um、20μm、60μm，120μm 9、工作台范围不小于50*50*25mm

设备采用肖特基热场发射电子束源，可提供30KV以下高分辨SEM图像和0.5um-2mm写场可变范围电子束曝光功能，可实现最小特征尺寸8nm曝光，50nm套刻精度

SEM主机台、6MHz图形发生器、25mm2/2英寸样品台、UPS不间断电源、冷水机、常用工具箱