定位精度：±0.3μm 重复定位精度：±0.1μm 直线度：±0.5μm (Plus值) 电子分辨率：0.3nm 或 5nm (可选配) 行程与尺寸 X/Y轴行程：均为 400mm Z轴行程：150mm

可应用于激光加工、CCD 成像、LED 封装检测、晶圆检测以及其它高端制造，非接触式气浮导轨结构直驱直线电机驱动 龙门结构，大理石平台刚度大稳定性好定位精度 ±0.3um，重复定位精度 ±0.1um Z 轴采用重力平衡气缸，确保运行精度 优化线缆管理系统根据需求可定制 定制化设计 CUSTOMIZED DESIGNING 我司制造的大行程三轴气浮运动台用于晶圆激光加工行业，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。 底轴 Y 轴用于微动调整步进，微动步距 10nm，气浮结构保证了高直线度。上轴 X 轴搭载激光用于快速扫描切割晶圆，高平面度指标保证了理想的切割直线，同时能够实现高动态响应和快速位置整定，Z 轴采用低摩擦气缸配重，用于微调整，气浮结构有效的提升了垂直方向上的性能，行程可定制。

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