1) 高性能的针尖扫描方式的扫描探针显微镜，带210mm直径真空吸附多样品支持样品台。 2) FastScan扫描器在轻敲模式下可达扫描器成像速度快20倍。可在大气、液态下工作，当扫描速度超过3mm/s 时，在X sensor 信号上Trace和Retrace分离程度小于300nm。 3) IconXYZ三轴闭环扫描器，XY方向90微米，Z方向大于10微米。 4) 快速扫描三轴闭环扫描器，XY方向35微米，Z方向大于3微米。 5) Z方向噪声水平：开环控制<0.3Å；闭环控制<0.35Å（图象测试）；<0.5Å（力测试）。 6) XY方向定位噪音水平：开环控制<0.10nm，闭环控制<0.15nm。 7) 定量表面机械性能测试：不仅可以对样品表面形貌高分辨率成像，同时可以对纳米机械性能（包括弹性模量和粘附力）成像。模量1 MPa~70 GPa，粘附力10 pN~10uN。 8) 整体封闭一体式防震台。 9) 基本功能特点：接触模式（Contact AFM)，轻敲模式（Tapping Mode)，智能扫描模式（ScanAsyst Mode)，峰值力轻敲模式（Peak Force Tapping)，PN力曲线及力谱线（PicoForce)，抬高模式（Lift Mode)，扭矩共振模式（TR-Mode，Tapping-TR)，高次谐波共振模式（Harmonic 模式)，液体环境的接触模式和轻敲模式，液体环境的智能扫描模式（ScanAsyst Mode)，相位成像模式（Phase Imaging Mode)，横向力显微镜(LFM)，静电力显微镜(EFM)，磁力显微镜(MFM)，表面电势显微镜(KFM)，等。

原子力显微镜能够在大气以及液体环境中快速并准确的观测样品表面微观(纳米及亚微米尺度)三维形貌，可以对样品表面物理化学特性进行研究，能够检测多种材料样品表面的高分辨结构，检测物质的微观相互作用力，测量物质的微观电学性能，等。快速扫描原子力显微镜的配置可以适用大样品表面的检测，通量和灵活性高，用户操作界面友好。其结合使用高频振动微小探针可以实现原子力显微镜的高速扫描成像和快速力曲线检测与分析，并可以同步完成快速力曲线和定量纳米力学信息检测。其结合特定的电学模块配置使用特定的导电探针可以检测大部分物质材料的表面微观导电性能。

1、一体式隔震台。2、NanoScope V 9 控制器，Dimension Icon Stage 控制器，Dimension Fastscan Stage 控制器。3、Dimension Icon 扫描器。4、Dimension Fastscan 扫描器。5、完整的PC控制和软件系统。