放大倍数：5ⅹ，20ⅹ，50ⅹ 台阶精度：0.3nm（单光源模式） 台阶测量范围：25um（双光源模式） 频闪最高频率：25MHz 频闪最高电压：10V（峰峰值） 动态拍摄带宽：200MHz（即在25MHz的极限激励频率下最多支持每个周期拍摄8张全息图片)

1、器件静态形貌观察 通过拍摄器件的全息图片，可以实现光学图像拍摄，表面粗糙度测量，剖面测量以及三维图像生成。 2、器件动态拍摄 当器件受到频闪模块的激励而发生运动时，DHM可以实时监测并连续拍摄全息图片，实现三维动态图像重建。