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手动探针测试系统
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联系人 :
杨津津
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上海科技大学海科路99号1号楼未分区B1层B101净化室
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线性扫描轮廓仪
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刘娟娟
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上海科技大学海科路99号1号楼未分区1楼101净化室
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021-20685796
步进式光刻机
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彭鹏飞
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上海科技大学海科路99号1号楼1楼101净化室
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021-20684632
划片机
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叶佳
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上海科技大学海科路99号1号楼未分区B1层B101净化室
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021-20684743
有机高分子镀膜机
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联系人 :
张祁莲
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上海科技大学海科路99号1号楼地下1楼101
电话 :
20685791
深硅刻蚀机
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联系人 :
刘娟娟
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海科路99号1号楼量子器件中心超净室
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02120685796
ICP介质刻蚀机
ICP介质刻蚀机
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联系人 :
刘娟娟
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海科路99号1号楼量子器件中心超净室
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02120685796
HMDS烘箱
HMDS烘箱
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马驰原
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上海科技大学海科路99号1号楼1楼101净化室黄光区
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021-20684635
低压化学气相沉积系统
低压化学气相沉积系统
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王镜喆
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海科路99号1号楼B1层材料器件中心净化间
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021-20684633
电子束金属蒸发系统
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联系人 :
张祁莲
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上海科技大学海科路99号1号楼未分区1楼101净化室
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021-20685791