用户科研成果


一、代表性学术论文

1.上科大信息学院  寇煦丰课题组

Zhang Y, Xue F, Tang C, et al. Highly Efficient Electric-Field Control of Giant Rashba Spin–Orbit Coupling in Lattice-Matched InSb/CdTe Heterostructures[J]. ACS nano, 2020, 14(12)17396-17404.

利用中心的ICP-RIE刻蚀机等构建了基于InSb/CdTe异质结构的场效应晶体管,实现了电场控制界面Rashba效应。


2.上科大信息学院  邹毅课题组

Zhang A, Xia L, Li T, et al. Ultra-compact polarization-independent 3 dB power splitter in silicon[J]. Opt. Lett., 2021, 46(19) 5000-5003.


利用中心的EBL、HBr刻蚀机和PECVD等构建了亚波长结构的功率分束器(左),证明了其与偏振无关的特性,工作带宽超过50nm(从1540到1590nm),这是当前最小的偏振无关分束器。右图为器件的显微镜和SEM图像。




3.上科大信息学院  吴涛课题组

Shao S, Luo Z, Wu T, et al. High Figure-of-Merit Lamb Wave Resonators Based on Al0.7Sc0.3N Thin Film[J]. IEEE Electron Device Lett., 2021, 42(9) 1378-1381.


利用中心的氮化铝集成溅射仪、电子束蒸发镀膜机、PVD、RIE等设备构建了兰姆波谐振器(上图),可实现127nm/min的蚀刻速率和72°的光滑侧壁(a及b图)。



4.上科大信息学院  吴涛课题组

Liu Y, Gao Z, Liu K, et al. Torsional MEMS Scanner Based on LiNbO3 Thin Film[C]. Transducers 2021. 20-25 June 2021.

利用中心的PECVD、RIE、XeF2构建了基于LiNbO3薄膜的微扫描器件,右图为器件的光学显微镜照片。



5.上科大信息学院 陈佰乐课题组

Song Z, Zhou Z, Huang J, et al. Analysis of AM-to-PM conversion in MUTC photodiodes based on an equivalent circuit model[J]. Opt. Express, 2021, 29(21) 33582-33591.

用中心的ICP-RIE等设备构建了改进的单行载流子光电二极管(MUTC-PD)

利用中心的ICP-RIE等设备构建了改进的单行载流子光电二极管(MUTC-PD)。



6.上科大信息学院 陈佰乐课题组

Xie Z, Zhou Z, Li L, et al. High-Speed 850 nm Photodetector for Zero-Bias Operation[J]. IEEE J Sel Top Quantum Electron, 2022, 28(2).


利用中心的ICP-RIE、电子束蒸发、PECVD等设备构建了高速光电探测器(左图为衬底,中间为器件结构示意图,右图为器件的SEM图像)。


以上为部分代表性成果,更新至2022年5月


二、其他学术论文

2022年(持续更新):

  1. Wang J, Xie Z, Zhu L, et al. InP-based Broadband Photodetectors with InGaAs/GaAsSb Type-II Superlattice[J]. IEEE Electron Device Lett., 2022, 43(5) 757-760. 上科大信息学院陈佰乐课题组
  2. Huang J, Shen Z, Wang Z, et al. High-speed Mid-wave Infrared Uni-traveling Carrier Photodetector Based on InAs/InAsSb Type-II Superlattice[J]. IEEE Electron Device Lett., 2022, 43(5) 745-748. 上科大信息学院陈佰乐课题组
  3. Shao S, Luo Z, Lu Y, et al. Low Loss Al0.7Sc0.3N Thin Film Acoustic Delay Lines[J]. IEEE Electron Device Lett., 2022, 43(4) 647-650. 上科大信息学院吴涛课题组
2021年:
  1. Cai J, Wang Y, Lou L, et al. Photoacoustic and Ultrasound Dual-modality Endoscopic Imaging Based on AlN PMUT Array[C]. IEEE MEMS 2021, 21161787. 上科大信息学院吴涛课题组
  2. Luo Z, Shao S, Wu T. AIN Contour Mode Resonators with Half Circle Shaped Reflectors[C]. IEEE NEMS 2021, 20866493. 上科大信息学院吴涛课题组
  3. Luo Z, Shao S, Wu T. Lamb Wave Resonators based on Co-sputtered Al0.78Sc0.22N Thin Film[C]. IEEE IUC 2021, 21434997. 上科大信息学院吴涛课题组
  4. Luo Z, Shao S, Wu T, et al. Al0.78Sc0.22N Lamb Wave Contour Mode Resonators[J]. IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control, 2021. 上科大信息学院吴涛课题组
  5. Liu Y, Liu K, Wu T. Design and Analysis of High kt2 Shear Horizontal Wave Resonators[C]. IEEE IUS 2021, 21435091. 上科大信息学院吴涛课题组
  6. Cai J, Liu K, Lou L, et al. Increasing Ranging Accuracy of Aluminum Nitride PMUTS by Circuit Coupling[C]. IEEE MEMS 2021, 20564825. 上科大信息学院吴涛课题组
  7. Shen Z, Deng Z, Zhao X, et al. Submonolayer quantum dot quantum cascade long-wave infrared photodetector grown on Ge substrate[J]. Appl. Phys. Lett., 2021,118, 081102. 上科大信息学院陈佰乐课题组
  8. Shen Z, Deng Z, Zhao X, et al. Long-Wave Infrared Sub-Monolayer Quantum dot Quantum Cascade Photodetector[J]. J. Light. Technol., 2021, 39(5) 1489-1496. 上科大信息学院陈佰乐课题组
  9. Wang W, Yao J, Wang J, et al. Characteristics of thin InAlAs digital alloy avalanche photodiodes[J]. Opt. Lett., 2021, 46(16) 3841-3844. 上科大信息学院陈佰乐课题组
  10. Wang Y, Chen Y, Zhang Y, et al. Experimental Characterization of ALD Grown Al2O3 Film for Microelectronic Applications[J]. AMPC, 2021, 11(1) 7-19. 上科大量子器件中心Jangyong Kim

  11. Wang Y, Liu K, Shao S, Multiferroic Magnetic Sensor Based on AlN and Al0.7Sc0.3N thin film S[C], IEEE IUS 2021, 21434784. 上科大信息学院吴涛课题组/量子器件中心Jangyong Kim

备注:以上未标注SQDL的论文,均已向中心说明该成果利用SQDL相关设备的情况。


三、专利类

已授权专利4

  1. 杨瑾屏, 李升, 宋艳汝, 杨士成, 王彩霞, 朱忠博, 刘志. 一种宽带硅基金属波导矩-圆模式变换器[P], 中国, ZL202110041854.4, 2021-12-03. 上科大大科学中心/刘志课题组
  2. 杨瑾屏, 宋艳汝, 刘志, 一种集总元件不等功分器及设计方法[P], 中国, ZL202110041855.9, 2022-3-04. 上科大大科学中心/刘志课题组
  3. 宋艳汝, 杨瑾屏, 刘志, 光刻板清洗装置[P], 中国, ZL202022159929.2, 2021-10-26. 上科大大科学中心/刘志课题组
  4. 宋艳汝, 杨瑾屏, 刘志, 一种制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置[P], 中国, ZL202022247713.1, 2021-3-30. 上科大大科学中心/刘志课题组

正在申请专利6

  1. 彭鹏飞, 宋艳汝, 方维政, 徐旭光, 一种单片晶圆显影装置[P], 中国, 202221005563.6, 2022-04-27. 上科大量子器件中心
  2. 宋艳汝, 杨瑾屏, 张硕, 夏经铠, 刘志, 一种超导转变边探测器及其制备方法[P], 中国, 202110560045.4, 2021-5-21. 上科大大科学中心/刘志课题组
  3. 杨瑾屏, 宋艳汝, 刘志, 一种具有最简结构的集总元件不等功分器及设计方法[P], 中国, 202110041855.9, 2021-1-13. 上科大大科学中心/刘志课题组
  4. 杨瑾屏, 李升, 宋艳汝, 李琪, 朱忠博, 刘志, 硅基太赫兹金属波导工艺可靠性测试装置及其测试方法[P], 中国, 202110041962.1, 2021-1-13. 上科大大科学中心/刘志课题组
  5. 宋艳汝, 杨瑾屏, 刘志, 一种适用于超导探测器玻璃窗的制备工艺[P], 中国, 202011076966.5, 2020-10-10. 上科大大科学中心/刘志课题组
  6. 宋艳汝, 杨瑾屏, 刘志, 制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置及使用方法[P], 中国, 202011077138.3, 2020-10-10. 上科大大科学中心/刘志课题组