阴极荧光谱仪具备马达控制全光，分光两种模式，可得到全光CL影像、单光CL影像及光谱信息，角分辨ARCL，波长-角分辨WARCL，用户可以自行在软件中进行模式切换。 可以做到阴极光均匀的搜集有效视野范围：≥5000um²。 分光谱仪光圈：f值≤4。 配备标准PMT探头，可探测波长范围为分光模式185-980 nm。 配备扫描外接控制单元，用于控制电子显微镜的电子束扫描，并可以设定扫描的区域以及扫描的步长，滞留时间等。 配备UV增强功能的背光CCD读谱探头，探测范围区间≥200-1100nm。 分光光路狭缝可调范围区间≥0.1mm-5mm。 光谱分辨率≤0.1nm。 角分辨的波长涵盖范围：≥330nm-700nm区间

Monarc Pro阴极发光谱仪，配有185-980nm PMT探头及200-1100nm CCD探头，包含Digiscan系统以及面扫Spectrum Imaging功能，包含了角分辨功能和波长角分辨功能