可制备团簇尺寸：单原子~直径10nm； 质量选择范围：20~1,000,000amu； 质量选择分辨 M/dM=50； 束流强度(白束)：ToF下层末端Ar离子束流强度不小于1nA；

质量选择团簇束流系统通过将材料在真空中等离子体化后，使其自发凝聚形成具有一定尺寸分布宽度的带电团簇和纳米颗粒；通过离子光学引导成束，进入质量选择器筛选产生荷质比高度均一化的团簇和纳米颗粒并最终软着陆沉积在平面衬底上。

质量选择团簇束流系统由团簇生成和束流引出系统、离子光学系统、质量选择及束流沉积系统等部分构成。