1.宽量程测量能力：支持最高 200 V 电压、1 A 直流电流。 2.高精度测量能力：电流测量精度可达 30 fA，灵敏度可达 0.1 fA。 3.噪声测试带宽：高精度模式最高支持 100 kHz，超低频模式最高支持 40 Hz。 4.噪声测试速度：测试速度小于 10 s/bias，频率分辨率优于 0.5 Hz。 5.内置脉冲测试能力：支持最高 200 V 电压、3 A 脉冲电流，最小脉宽 50 us。 6.内置 C-V 测试能力：支持 200 V / 10 kHz 测试条件，最低可测电容达 20 fF。 7.外置 C-V 测试模块： 高精度型：40 V / 2 MHz； 高带宽型：40 V / 10 MHz。 8.高速时域信号采集能力：最小采样时间小于 1 us，支持 10 万点数据采集。 9.噪声测试最小阻抗：最低支持 500 Ω。 10.噪声测试分辨能力：最低可达 2 × 10⁻²⁸ A²/Hz。 11.噪声测试频率分辨率：高精度模式可达 0.1 Hz，超低频模式可达 0.001 Hz。 12.高精度快速波形发生与测量套件：配备 2 通道，采用 SMA 接口。 13.快速 I-V 测试能力**：支持 ±10 V 电压范围，最大 10 mA 电流。 14.SMU 直通功能：支持 ±25 V 电压输入，最大 100 mA 电流。 15.高速采样能力：采样率最高可达 100 MSa/s，最小推荐脉冲宽度可达 130 ns。

FS-Pro 系列内置 LabExpress 测量软件，提供图形化界面和灵活参数配置，支持直流、脉冲、瞬态、电容、噪声及任意波形测试；涵盖 Stress、HCI、BTI、TDDB、GOI 等可靠性测试。软件内置器件测试预设、自定义信号编辑和数据分析功能，支持数据导出及建模软件对接。专业版还可控制探针台和矩阵开关，实现晶圆映射、并行与自动化测试。

半导体分析仪，LabExpress 测量软件