机台适用于4、6英寸晶圆，每次可处理25片晶圆，药液槽各配一个塑料衬套填充（塑料衬套可在SC1、SC2、HF中使用），用于使用4寸花篮时。

设备为密封结构，药液槽之间配有透明隔断，排风有防腐风阀调节装置。药液槽上方配有载物台，可放置花篮及槽盖等。

（1）配置2个4寸片盒抓手，2个6寸片盒抓手 （2）配置2个4寸片盒（entergris品牌，型号：A72-40MB-0215，PFA），1个6寸片盒（entergris品牌，型号：A182-60MB-0215，PFA）