极限真空：4x10-8 Torr Ar流量：0-20sccm 靶位和尺寸：4个15cc坩埚穴位,Ф30mm xФ22mm x22mm(圆台型)。 2个Thermal位。 冷泵抽速：1500L/S，腔体压强进入9x10-7Torr大约60min。 基底温度：25-800℃ 样品盘尺寸：最大支持4寸硅片。

金属材料蒸发镀膜，目前提供蒸发源有：Ag、Cu、Ti、Cr、Ni、Al、Au。

本设备配置6kV电子束电源柜，配备2个独立的Thermal蒸发电源。基片最高可加热到800摄氏度，兼容Ar电离清洗功能，并配置独立的偏压电源。