背散射电子探测器，CeB6灯丝，5,10,15KV加速电压，极限分辨率17nm。

Phenom Pro 是一款使用高亮度 CeB6 灯丝的高分辨率台式扫描电镜。适用于观察微米或者亚微米样品的表面形貌和微观结构。具有新一代高亮度 CeB6 灯丝和全新的聚焦系统，可15 秒快速抽真空，操作简便快捷。

背散射电子探头、EDS探头