热学性能
最高温度:1200°C(纯加热)/900°C(电热同步)
室温至最高温度可调
加热/冷却速率:≥1000°C/ms
700×700μm膜实现快速升降温
温度均匀度:≥99.5%,稳定性:<0.01°C
膜材料热膨胀系数匹配设计
热漂移速率:<0.5nm/min
支持高分辨率成像
温度准确度:≥95%
电学性能
最大电流100mA,最大电压55V
可咨询更高电压定制版本
最大电场强度:高达100kV/cm
AC频率低至30Hz
电流测量精度:±0.15%+750fA
电压精度:±0.015%+225μV
电极材料:铂/钨
直接图案化于E-chip