信息学院推出芯片测试实验室

文章来源：机电能源与电子器件科研平台

集成电路技术是上海市在信息领域布局的重点产业之一，也是上海科技大学信息科学与技术学院重点发展的学科和方向。为了加强信息科学与技术学院在集成电路领域的综合教学科研能力，信息科学与技术学院投入大量资源，围绕芯片设计和芯片测试等方向，布局了一系列实验室，其中位于3号楼1楼的芯片测试实验室已初步建成。

芯片测试实验室是属于机电能源与电子器件科研平台管理下的公共实验室，目前配备了8台先进的仪器设备，累计金额超600万元，可满足芯片、器件、材料从低频至高频（20Hz-67GHz）的各种电学参数测试需求。芯片测试实验室的主要设备如下：

1， 高频探针台，该探针台配备3个高频探针臂和多个直流探针臂，配合相应的高频仪表，测试频率范围可以扩展到10MHz-67GHz；并且该探针台可以完成多端口器件的高频参数测试。

2， 四端口矢量网络分析仪：该矢量网络分析仪除了可以完成基础的S参数测试、阻抗测试、电压驻波比测试之外，还可以进行脉冲S参数测试；该矢网可以输出带调制的脉冲信号，对于自热器件，脉冲S参数的测试结果更加准确；此外，该矢网还支持噪声系数测试、IMD测试、谐波测试等功能；因此，该矢网不仅可以支持无源器件的高频参数测试，也可以支持放大器、混频器等有源器件的高频参数测试。由于该矢网同时支持多种参数的测试，对于探针台下的测试更加便利，对于器件的测试Pad损伤也会比较小。

3， 超宽带射频收发综合测试系统，该测试系统包含一台可以产生2GHz带宽的宽带调制信号的矢量信号源，同时该信号源还可以产生超宽带的UWB信号；一台可以对2GHz带宽进行解调的矢量信号分析仪，该矢量信号分析仪还带UWB信号的解调功能；一台带宽到10GHz采样率到128GSa/s的示波器，以及一台可以同时支持68通道测试的逻辑分析仪。

4， 阻抗分析仪E4990A，可以对频率范围20Hz-120MHz，阻抗大小从毫欧至兆欧的器件和芯片的阻抗进行分析测试。

5， 标量负载牵引测试系统：实验室配备有FOCUS Microwave公司负载牵引测试系统一套。测试系统包括源阻抗调谐器一台、负载阻抗调谐器一台，以及相应的负载牵引测试软件。可满足在700MHz-18GHz频段内半导体器件的标量负载牵引自动化校准与测试需求，同时可帮助高效地完成器件最佳输入输出特性参数的提取，辅助器件建模等。

芯片测试实验室目前已经开始承担教学和科研相关的支撑工作。在支撑教学方面，信息学院在芯片测试实验室已在开展一系列科学素养能力训练课程，并计划在暑学期开展《芯片测试入门与实践》课程教学。在支撑科研方面，芯片测试实验室已开始支持信息学院多个课题组的器件和芯片的测试。

芯片测试实验室面向全校师生以及周边的科研院所和企业开放，欢迎各位老师、同学及社会各界用户前来参观交流、共享资源。如有使用需求，欢迎联系实验室管理员。

联系方式：刘老师，邮箱 liufy@shanghaitech.edu.cn。

图1 芯片测试实验室仪器图示

图2 芯片测试系统