1) 高精度、低噪音的多功能扫描探针显微镜，独特的三轴分离式扫描器。 2)通过单扫描器实现90um原子级分辨率，闭环控制XY方向90微米，Z方向15微米。 3) Z方向噪声水平：闭环控制<0.25nm（ADev,0.1-1kHz）。 4) XY方向噪声水平：闭环控制<0.50nm（ADev,0.1-1kHz）。 5) 导电测试模块：用于电流成像、表面电势成像和I/V曲线测试，标准增益5*108，电流测试响应范围：1pA-20nA。 6) 纳米压痕模块：具有专业的纳米压痕功能，能够实现纳米划痕和纳米切割等功能，压痕载荷最大20mN，系统噪音~75nN。 7) 主动式高性能电子减震平台，主动减震频率1.2Hz至200Hz，被动减震频率大于200Hz。

原子力显微镜能够在大气以及液体环境中快速并准确的观测样品表面微观(纳米及亚微米尺度)三维形貌，可以对样品表面物理化学特性进行研究，能够检测多种材料样品表面的高分辨结构，检测物质的微观相互作用力，测量物质的微观电学性能，等。与光学显微镜联用的生物型原子力显微镜可以使用生物大分子、活细胞、细菌、蛋白质等样品的纳米结构及快速变化的过程，可直接在大气、液体中得到高分辨的图像及力学、电学信息。

1、一体式隔震平台，内部搭载主动式减震系统。2、MFP-3D-Bio 控制器。3、MFP-3D-Bio 扫描器。4、光源和独立的相机系统。5、辅助检测配件：环境控制样品台附件；纳米压痕模块；导电测试模块、高低温模块、生物加热和皮氏培养皿加热、频率调制夹持器、peek探针夹持器、等。6、联用倒置荧光光学显微镜。7、独立的PC控制系统和操作软件。