我校百余名夏令营本科生到量子器件中心参观

7月5日下午，来自物质学院和信息学院共110余名夏令营本科生到中心参观，中心4名工程师化身讲解员，带领同学们开启初识芯片制造之旅。

在中心大厅，学生们先观看了芯片制造科普视频，讲解员深入浅出地向大家讲解了其工艺流程和原理，并普及了与芯片制造相关的纳米技术和微电子学的基础知识。学生们连连惊叹，原来从最初的硅锭转化为实际的芯片要历经数百步甚至上千步工艺，每一步都不可或缺。接着，讲解员向学生们介绍了芯片制造所需的超净室构造和环境等，强调了超净室层流气流模式、洁净等级和黄光区等要求，这让同学们切身感受到了无尘、完善、稳定的微纳工艺研发环境。

接着学生们又来到超净室参观走廊，隔着一屏之隔，大家更近一步接触了镀膜、刻蚀、光刻、量测等不同工艺区域的各类设备，讲解员重点介绍了大家最感兴趣的步进式光刻机、电子束曝光机等光刻设备。大家初步了解到了不同设备从10纳米、150纳米到0.8微米不同尺度的曝光极限指标，感叹微纳精密仪器的“精”与“细”。同时，为帮助同学们了解微纳加工技术应用，讲解员通过用户成果展板向大家生动讲解了硅光器件、Ⅲ-Ⅴ族光电器件、偏振量子阱探测器、偏压微机械超声换能器等。

值得一提地是，参观中讲解员简要介绍了中心开设的《量子材料与微纳器件制造技术》系列课程以及中心卓越工程师人才培养工作开展情况等，进一步引起了大家对报考微加工方向的广泛兴趣。

参与夏令营的同学们纷纷表示，这次参观活动对他们的学习和职业规划产生了积极的影响。他们深刻认识到芯片制造的重要性和复杂性，并对科技行业的未来充满了期待。参与讲解的四位工程师表示，他们非常荣幸能为年轻一代提供亲身体验和了解芯片制造的机会，希望通过夏令营活动，激发同学们对集成电路相关领域的兴趣，并欢迎来自各个院校的优秀学生报考上海科技大学。