1、高分辨XRD测试（单晶及外延薄膜样品的线扫、 摇摆扫描等）； 2、掠入射反射XRR测试（厚度在10~100nm的薄膜 样品）； 3、粉末多晶衍射（Gonio扫描轴）； 4、二维倒异空间图RSM； 5、工作电压、电流：60KV，60mA 。

可以确定： 1、物相定性和定量分析、晶型鉴别、结晶度测定以及晶胞参数精确测定； 2、微小区域的物相鉴定以及实现二维（2D）衍射功能，得到直接可视化的德拜环。

本仪器配置：平板样品台、多功能样品台、点探测器、PIXcel3d全能矩阵探测器、平板准直器 模块、 Hybrid单色器、薄膜模块（Mirror）。