1测量薄膜应力范围涵盖：1～10000MPa； 2测量曲率半径范围涵盖：2～20000m； 3测量曲率半径重复精度：＜1% (曲率半径＜20m）；＜2.5%（曲率半径＜100m） 4 最小步长：≤0.1mm。

1，测量晶圆及薄膜样品的轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力等参量，最大支持8英寸，向下兼容6，4，3，2英寸样品； 2，电动旋转样品台； 3，操作软件:可视化2D/3D显示，具有Mapping功能；曲率半径和薄膜应力分布视窗界面显示； 4，非接触式双激光扫描。 5，一键生成检测报告