Modular generation unit construction Interchangeable chamber modules Choice of LN.or mechanical chiller Closed-loop monomer pressure contro Continuous process monitoring Low-noise,direct drive vacuum pumps Fixture rotation Optional tumble coat operationOptional remote vacuum pump

面向大学研究和研发应用场合，能够在实验室中可靠地制备聚对二甲苯聚合物薄膜和涂层。 该系统已通过CE认证，配备基于Windows ® 的软件和触摸屏。 利用内置数据记录和报告功能，可轻松导出包括气化器温度和沉积室真空度在内的沉积工艺参数。