MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为操作人员提供了很强的便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时又不影响精确的定位功能，并具有精确的25×25 mmXY-θ 千分尺运动。 探针台工作台面具有25毫米的精细高度调节，以支持各种应用。独特的1mm精确刻度可提供有关当前位置的直接反馈。

应用于测试半导体晶圆级、器件类电学特性，具备可以快速拖动样品台，更换样品功能，并且有着独特Platen平台设计，测试重复性提高95%。MPI 全系列探针台具备模块化设计,可搭配不同变倍比显微镜，同时与德国ERS联合开发设计具有气冷温控技术的Thermal Chuck同步使用。