电子能量分析器：DA30-L-8000 1. 能量分辨率<1.0 meV半高宽； 2. 透射模式能量范围：0.5-12电子伏特； 3. 角度模式：±3.5°±7°±15°； 4. 安装口CF200,极限真空<5E-8mbar；

低能量高分辨率； 包含双层μMetal测试主腔；

测试主腔； 电子能量分析器； 电源控制； 扫描分析软件；