半自动面分布电阻率测试台
半自动面分布电阻率测试台
联系人
冷兴龙
邮箱
lengxl@shanghaitech.edu.cn
电话
021-20685739
购买日期
2024/08/01
主要规格和技术参数
机器尺寸:长×宽×高730MM×935MM×1345MM(不包括显微镜) 三点定圆功能保证墨点不打在承片台上 基本系统耐压可达1700V。
主要功能及特色
适用于4~8英寸集成电路与分立器件晶圆的自动测试,镀金Chuck兼容4~8英寸芯片自动测试,本机具备有多样灵活的测试方式及丰富的MAPPING处理功能。产品设计满足了多芯、长针卡等测试的需要,并可根据测试需求选配视觉系统实现自动扫描、定位,还可增配进行高温、高压测试、大电流测试等等。 A.Mapping功能,可以实现脱机打点。 B.抽测功能,可实现圆片上不等距步进,任意点测试。 C.具有多Bin分类显示Mapping功能,方便分析圆片参数分布状况。
主要附件及配置