设备占地面积300cm*150cm 具备六只坩埚和两只蒸发舟 270°E 型电子枪及高压电源（成都兴南品牌或同等产品），电子枪功率可调，最大功率不小于 6 KW 可调；电子束可二维扫描调节，最大扫描不小于10mm（X，Y），可手持遥控操作扫描。 高性能蒸发电源，最大功率不小于2KW；

在4 英寸Si衬底上沉积钛（或其他金属），厚度约200nm，膜厚非均匀性≤±5%； 满足蒸镀其他金属、介质薄膜

冷水机一台、空气压缩机一台