测量单元配置： 源测量单元 (SMU)： 电压范围：±210 V，电流范围：±100 mA（中功率）或 ±1 A（高功率） 电流分辨率：100 fA（标配），选配放大器可达 10 aA 支持超低频电容测量（10 mHz–10 Hz）139。 电容电压单元 (CVU)： 频率范围：1 kHz–10 MHz 内置偏置电压：±30 V（可扩展至 ±210 V）359。 脉冲测量单元 (PMU/PGU)： 采样率：200 MSa/s（5 ns 分辨率） 脉冲幅值：±40 V，电流：±800 mA 支持瞬态波形捕获及多电平脉冲生成137。 扩展模块： CVIV 开关模块：自动切换 I-V 与 C-V 测量，无需重新接线349。 远程放大器 (RPM)：将 PMU 电流灵敏度提升至 数十皮安，降低电缆干扰

主要功能 多参数同步测试： 同步支持 I-V 直流特性、C-V 阻抗 及 超快脉冲 I-V 测量，覆盖半导体全特性分析3510。 应用场景覆盖： 晶体管（MOSFET/BJT）、纳米器件、存储器、太阳能电池、MEMS 传感器等169。 晶圆级可靠性测试（WLR）：支持 NBTI/PBTI、热载流子注入（HCI）、电迁移（EM）等应力测试610。 核心特色 智能软件平台： Clarius 软件：集成 450+ 预定义测试方案，支持三步快速测试（选择→配置→分析），实时参数提取与数据可视化139。 内置专家视频：提供多语言（中/英/日/韩）操作指导，降低学习门槛110。 高效操作设计： 免重新布线：通过 CVIV 模块实现 I-V/C-V 测量无缝切换49。 无示波器验证：脉冲预览模式直接校验脉冲参数，替代外部示波器19。 模块化灵活扩展： 主机支持 9 个插槽，可配置多 SMU/CVU/PMU 单元，适应未来升级需求3610。 可靠性增强： Pin-to-Pad 接触检查：自动检测探针接触质量，确保测量准确