真空度可实现10-8 Pa, 仪器的主要部分均放置在铝合金支架上，其中红色框为各类源表的放置平台，比如电源控制器、各类源表、以及远程控制电脑操控、摄像装置。可以有效的提高装置的整体集成度。其中橙色框中为真空获得系统，主要包括长为630 mm，宽为786 mm，高为1381 mm，壁厚为20 mm的真空腔体，以及分子泵组，真空检测配套装置的的真空获得系统，

主要解决了超导加速腔内壁由于椭球表面与阴极靶之间的渐变角度和半径的显著变化(如图1)，导致生长的超导薄膜厚度不均匀，附着力差，溅射效率低的问题。

泵组说明书