• 适用设备:环境扫描电子显微镜(ESEM)
• 耐温范围:探测器耐受温度最高1500℃
• 环境气氛:气压范围10⁻⁶ Pa至10³ Pa,气氛成分可调,配PID系统稳定控制
• 探测器配置:耐高温四象限BSE探测器,带碳涂层电极,偏压范围-10V至+10V
• 探测器布置:极靴正下方四象限对称布局,单次扫描输出四张图像
• 3D校准系统:配备标准金字塔、球形元件与纳米标记,校准误差小于1%
• 数据分析系统:集成AI深度学习三维重构系统,基于四张BSE图像实时输出表面高度图
• 图像采集系统:支持多通道信号放大与混合,最小像素驻留时间10ns,最大分辨率500万像素
• 对中系统:进探头杆配全角度微调与真空相机辅助定位,确保探头中心与极靴正下方对齐