生长室 · 极限真空2E-10Torr · 旗形样品托 · 每个生长腔室6个源炉口 · 衬底具有辐射加热和电流加热功能 缓冲室 ·极限真空5E-10Torr ·多腔互联 ·线性手动传输 进样室 · 快开门设计

原子级精度薄膜生长的薄膜沉积系统，具有3个分子束外延生长腔室，一个线性传输腔室，一个快速进样室。