加热温度900℃,PID温控精度±1℃;极限真空：5x10-8Torr,真空腔室漏率≤5x10-10 Pa.m3/s;沉积均匀性（STO、YBCO）：±2.5% @2英寸基片（去边缘4mm）;专用YAG固态激光器输出波长:1064nm、532nm、355nm、266nm，输出波长可实现自动切换。

三光束脉冲激光共沉积系统-实用化“大尺寸”薄膜制造装备，为实用化薄膜研究提供“大尺寸”薄膜制备条件，可用于制备 2 英寸直径的单晶薄膜（可制备双面薄膜、也适用于制备相似薄膜材料体系）