（1）电子枪覆盖的能量段为：1-100 keV；电子束束流强度应大于0.5 mA，电子束束斑大小大于3 cm。（2）样品台和进样系统实现激光加热至1000摄氏度、液氮制冷以及多维度移动和旋转；并可实现透射和吸收模式切换。（3）腔体配备电子束探测器、多通道供气系统和质谱仪。

多相变温电子束辐照装置主要用于不同条件下和模式下的电子束辐照实验研究，用于提供厘米级束斑的电子束，探索面向工业的电子束辐照及外场耦合用于高选择性精确化学合成的技术。