衬底载物平台:XY方向两轴平移,行程20mm;Z轴方向行程10mm;绕Z轴电动调节旋转士90°;样品台加热最高温度为 260°C,温度控制稳定性士1°C;带样品真空吸附功能。
载玻片移动平台:五轴可调,XYZ方向三轴电动平移,行程25mm;样品送入手动旋转台,粗调旋转范围360°,细调旋转范围士5°,定位精度1~2°;Y轴方向载玻片倾角可调:调节范围士15°
高稳定显微观察支架:支持显微镜沿XY方向50mm行程,可在二维材料贴合以后,大范围调节显微镜观察位置;调焦行程30mm,精度1um
控制机箱:系统电学控制集成,控制样品台加热、吸附功能,控制显微照明亮度调节