分辨率： ≤0.7 nm@15 kV （二次电子）；≤1.1 nm@1 kV or 500V（二次电子）；≤0.5 nm@5 kV （ STEM 模式） 放大倍率：100 x - 2,000,000 X倍，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换； 加速电压：0.02 kV - 30 kV，以10 V为步进连续可调； 探针电流：3pA - 40 nA；束流稳定性：0.2%/10 h； 最大视野：5 mm @ 5 kV and WD = 8.5 mm

GeminiSEM460 场发射扫描电镜配置了ET-SE、ESB（InLens-SE）、aBSD和aSTEM检测器，加速电压0.02 kV~30 kV连续可调，5 kV下分辨率可达0.5 nm（STEM模式），对于电子束敏感（易损伤）样品等具有卓越的成像优势。

除了SEM常规样品座，还配备12孔STEM样品台，可对样品内部进行观察，对TEM样品进行筛选。